气体混配器是工业、科研及医疗领域中用于将两种或多种高纯气体按设定比例精确混合的关键设备，广泛应用于半导体工艺、环境模拟、呼吸气体配制、燃烧试验及标准气体标定等场景。其核心目标是在宽流量范围内实现稳定、可重复、无交叉污染的气体配比。
气体混配器性能高度依赖各功能模块的精密协同，深入理解其组成与特点，是保障混合气体品质与工艺安全的基础。
一、高精度质量流量控制器（MFC）
每路气体配备独立MFC，基于热式或压差原理实时测量并闭环控制流量；
量程覆盖从10sccm至数十slm，重复性≤±0.2%，响应时间＜1秒；
支持数字通信（如RS485、Modbus），可远程设定流量参数。
二、混合腔室
采用湍流或静态混合结构（如多孔板、螺旋导流片），确保气体在短距离内充分扩散混合；
材质为316L不锈钢或电抛光处理（Ra≤0.4μm），内壁光滑，防止吸附或残留；
容积经流体力学优化，兼顾混合效率与响应速度。
三、控制系统与人机界面
嵌入式PLC或工控机运行混合算法，支持比例模式（如5%O?+95%N?）或总流量+比例双控；
彩色触摸屏实时显示各路流量、混合比例、压力及报警状态；
可存储多组配方，一键调用，适配不同工艺需求。
四、压力与温度补偿单元
内置PT100温度传感器与压力变送器，对MFC输出进行温压补偿，消除环境波动影响；
确保在入口压力波动（如0.2–0.6MPa）下仍维持高精度配比。
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